关于臭氧O3的精密计量计量

半导体、太阳能等行业会用到臭氧O3来做硅片的清洗，但是O3的不稳定性，常常造成流量控制器的损伤。Lintec采用独有质量流量方式的传感技术，其原理利用环境温度传感器（Rt）来测量环境温度。 Ru / Rb流量传感器在Rt传感器测得的环境温度+α温度下加热。相比于传统质量流量传感器，可在更低的温度下实现高精度的流量测量和控制。

由于是在低温下进行高精度的流量测量，从而减少了热损害。这种效果使得可以测量预热高度可热解的诸如臭氧（O3）之类的流体，并减少了质量流量传感器本身的热损伤，从而使其成为长寿命的流量传感器，并且长期内测量精度几乎没有变化时间。

在半导体、太阳能等利用臭氧进行清洗的环节，Lintec的流量控制器的长寿命特点，可减少设备维护时间，实现提高生产效率。