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朗缪尔探针系统

Langmuir Probes

(ALP) System提供了一种测试等离子体参数的关键的基础的诊断工具。

可以对主要的等离子体参数进行实时在线监测

1、等离子密度;

2、电子温度;

3、离子电流密度;

4、等离子体点位;

5、悬浮电位;

6、电子能量分布函数(EEDF);

自动化朗缪尔探针(ALP)

常压朗缪尔探针(Atmospheric)
朗缪尔平面探针(Plato)
线性驱动装置 (Linear Driver)

离子能量分析仪

Ion Energy Analysis

Semion离子能量&离子流量分析仪用于测量真空腔室中等离子体的离子能量离子流量

主要用于如下行业:

1、等离子体工艺研究;

2、真空镀膜;

3、表面工程;

4、半导体;

5、太阳能/薄膜;


RFEA离子能量分析仪(Semion)

沉积速率能量分析仪(Quantum)
纵横比离子能量分析仪(Vertex)

射频探测器

VI Probe

Octiv Poly在线射频VI 探测器,用于测量射频源经过匹配后真实馈入到腔室(负载)中的电压、电流、功率、相位、谐波、阻抗等各项参数

主要特点:

该探测器配备高速的数据采集系统,利用高速傅里叶变换可以精确的测量射频电压、电流和相位等参数。采集系统位于一个专门设计的紧凑外壳中,易于安装在实验室或工业环境的所有射频设备上,通过USB、Ethernet等连接方式进行控制和传输数据。
用户能够通过Octiv软件控制传感器并显示数据,亦可根据随提供的应用程序接口(API)进行自我编程和控制。对于不同的设备空间,可按要求尺寸定做产品外观。


在线射频VI探测器 (Poly)

射频等离子体发射谱仪(RES)
合成波射频VI探测器(Suite)
通过式射频VI功率计(Mono)

射频异常探测器

RF ARC Sensor

Alfven 100是一款先进的一体化的诊断仪器,用于等离子体工艺过程中的放电异常现象检测。

主要特点:

Alfven能够以1us的分辨率进行实时测量,因此它即可用于检测和表征Arc,同时还可以监测每一个射频脉冲,以检查每个脉冲是否符合预先的设定。 Arc和射频脉冲缺失可能导致晶圆缺陷,因此,Alfven 100是快速故障排除和监测的必要工具。

在线射频异常探测器(Arc Sensor)

非接触射频异常探测器