专业流体控制领域供应商
朗缪尔探针系统
Langmuir Probes
(ALP) System™提供了一种测试等离子体参数的关键的基础的诊断工具。
可以对主要的等离子体参数进行实时在线监测：
1、等离子密度；
2、电子温度；
3、离子电流密度；
4、等离子体点位；
5、悬浮电位；
6、电子能量分布函数（EEDF）；
自动化朗缪尔探针（ALP）
常压朗缪尔探针(Atmospheric)
朗缪尔平面探针(Plato)
线性驱动装置 (Linear Driver)
离子能量分析仪
Ion Energy Analysis
Semion离子能量&离子流量分析仪用于测量真空腔室中等离子体的离子能量和离子流量。
主要用于如下行业：
1、等离子体工艺研究；
2、真空镀膜；
3、表面工程；
4、半导体；
5、太阳能/薄膜；
RFEA离子能量分析仪(Semion)
沉积速率能量分析仪(Quantum)
纵横比离子能量分析仪(Vertex)
射频探测器
VI Probe
Octiv Poly在线射频VI 探测器，用于测量射频源经过匹配后真实馈入到腔室（负载）中的电压、电流、功率、相位、谐波、阻抗等各项参数
主要特点：
该探测器配备高速的数据采集系统，利用高速傅里叶变换可以精确的测量射频电压、电流和相位等参数。采集系统位于一个专门设计的紧凑外壳中，易于安装在实验室或工业环境的所有射频设备上，通过USB、Ethernet等连接方式进行控制和传输数据。
用户能够通过Octiv软件控制传感器并显示数据，亦可根据随提供的应用程序接口（API）进行自我编程和控制。对于不同的设备空间，可按要求尺寸定做产品外观。
在线射频VI探测器 (Poly)
射频等离子体发射谱仪(RES)
合成波射频VI探测器(Suite)
通过式射频VI功率计(Mono)
射频异常探测器
RF ARC Sensor
Alfven 100是一款先进的一体化的诊断仪器，用于等离子体工艺过程中的放电异常现象检测。
主要特点：
Alfven能够以1us的分辨率进行实时测量，因此它即可用于检测和表征Arc，同时还可以监测每一个射频脉冲，以检查每个脉冲是否符合预先的设定。 Arc和射频脉冲缺失可能导致晶圆缺陷，因此，Alfven 100是快速故障排除和监测的必要工具。