//18207262.s21i.faiusr.com/2/ABUIABACGAAg8LSD4QUoktikigQw9AM4Vw.jpg
质量流量控制器
是控制半导体、液晶面板制造过程中各种气体和液体的质量流量的装置,具有高精度,是必不可少的关键器件。 由于
体和体的流速由质量(重量)而不是体积来控制,因此可以在不依赖于温度和压力的情况下以极高的精度控制流体。

模拟控制
0~5V控制
橡胶/金属密封
数字控制
RS485、DeviceNet、
Ether-CAT,多气体多量程
高温类型
可实现0~80°C、~120°C、
~150°高温气体控制
压力不敏感型
温度、压力双传感器
消除压力波动影响
气体流量测控产品
Gas Mass Flow Controller
高级气体流量控制器
//18207262.s21i.faiusr.com/4/ABUIABAEGAAg5__K6gUo7dG3qwMwrAM4mgQ.png
压力不敏感型流量控制器
//18207262.s21i.faiusr.com/4/ABUIABAEGAAg2-KK6gUo9Ka20QUwrAM4mgQ.png
微压差流量控制器
//18207262.s21i.faiusr.com/4/ABUIABAEGAAgi46L6gUow6ufgQMwrAM4mgQ.png
液体流量测控产品
Liquid Mass Flow Controller


薄膜对象

用途

薄膜材料

液体名称

绝缘膜

保护膜 绝缘膜

SiO2、SiN、PSG、BPSG

TEOS、TEB、TEPO、其他

高/强诱电率膜

电容

Ta2O5、BST、PZT、SBT

Ta(OC3H5)5 ......

金属薄膜

配线、籽晶层、

金属屏蔽层、电极

Cu、TiN、TaN、Ni、Co、Ru

TDEAT、TDMAT 、TiCL4、Taimata、Ru(EtCp)2......

High-K膜

栅极绝缘层

HFO2、ZrO2、La2O3、Al2O3

HTB、TMA、TDEAH......

Low-K膜

层间绝缘膜

 各种

DVS-BCB、TMCTS......


液体流量计

LM-3000L.png

强酸腐蚀性液体流量计

AM-3000L.png