磁悬浮分子泵
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分子泵(Turbo Molecular Pump)主要用于为制造太阳能电池和半导体提供不可或缺的真空环境。
岛津分子泵有着世界最高水准的排气能力,并且有一系列的产品可以满足不同的太阳能电池模组和硅晶片的工艺需求。

高吞吐量型

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主要特点

最大的排气流量  • 卓越的耐腐蚀性能
• 外形紧凑的控制器 • 应对生成物对策(选购件)
• 各种监测功能   • 网络接入对应
• 泵转速可调     • 消费电力削减  

• 适用于各种规格  • 无需蓄电池
• 无需调整(泵电缆更换时,无需对控制器再次调整)

型号序列

TMP-1303       TMP-1503        TMP-2203    

TMP-2804        TMP-3304         TMP-3504

TMP-4304


普通型

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主要特点

• 范围广且吞吐量大
• 支持数字电源
• 各种监测功能
• 可以进行网络连接
• 通过CE认证,SEMI S2认证以及NRTL认证


型号序列

TMP-203‍     TMP-303     TMP-403

TMP-803      TMP-1003

电源一体型
主要特点

• 外形紧
• 节省能源
• 无需安装电缆线或安装控制架
• 强化了抽气性能
• 无需外接电源


型号系列

TMP-X2905     TMP-X3405         TMP-2304

TMP-V2304      TMP-V3304







复合轴承型
主要特点

• 长耐久的轴承机理可以减少维护成本
• 可以和一个小型前级泵共同使用
• 可以任意选择安装方向

型号系列
氦质谱检漏仪泵
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应用:半导体和  平板显示器制造  LED制造  镀膜设备  制冷设备和空调的元件及部件  低温压力容器  阀门  气密性捡漏  航空部件,配件及系统

MSE-2400全自动便携式氦质谱检漏仪(油泵)


岛津氦质谱检漏仪搭载了新型的CPU,采用专用的分流泵及中间排气系统,实现了卓越的低BG恢复性能和操作性。

MSE-2401/2402/2403 全自动便携式氦质谱检漏仪(干泵)


岛津氦质谱检漏仪搭载了新型的CPU,采用专用的分流泵及中间排气系统,实现了卓越的低BG恢复性能和操作性。

MSE-3200S 全自动移动式高性能氦质谱检漏仪


岛津氦质谱检漏仪搭载了新型的CPU,采用专用的分流泵及中间排气系统,实现了卓越的低BG恢复性能和操作性。

MSE-4200S 电子封装类专用氦质谱检漏仪


岛津氦质谱检漏仪搭载了新型的CPU,采用专用的分流泵及中间排气系统,实现了卓越的低BG恢复性能和操作性。