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大气等离子电源,真空等离子电源
半导体晶圆制程, 大面积平板显示镀膜,精密光学镀膜,低辐射Low-e玻璃镀膜,柔性材料镀膜,硬质涂层镀膜...
HDP - CVD、PECVD、Etch-ICP/RIE、PVD、Plasma Cleaning
射频电源 RF Power

高性能精准输出功率、简单灵活操作、多种通讯
频率:2MHz、4MHz、13.56MHz ... 可定制
功率:600W~5000W
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匹配器 Match
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快速、高效匹配,宽活的匹配范围、高品质部
多种匹配模式、远程控制......
输入功率:600W、1200W、3000W、5000W
反射功率:600~1200W为2W。20~3000W为1%
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