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质量流量控制器工作原理

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质量流量控制器由传感器、Bypass组成和

组成,通过来自传感器的反馈控制(

PID控制)来调节控制阀流量。

主要特点

稳定的流量不受温度、压力影响。具有高精

度、稳定性好、重复精度高。易于集成,多、

种控制模式。金属密封可用于所有气体类型。

附带多气体、多量程功能可以极大减少备库。

可用于微小流量、高温气体、液体、低压差、

液化气体的流量控制。



行业应用
  • 半导体、液晶

  • 光伏新能源

  • 实验室仪器

  • 光通讯

  • 环境科学

  • 生物制药

  • 燃料电池...